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真空濺射離子鍍膜(PVD)服務(wù)商

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真空鍍膜加工過程中為什么要檢測厚度

時間:2023-10-23    點擊數(shù):

真空鍍膜加工過程中為什么要檢測厚度

精密光學(xué)鍍膜加工應(yīng)用需要薄膜涂層來滿足對折射率、光損耗、厚度、光傳輸和均勻性等因素的非常嚴格的規(guī)范。為此,真空鍍膜加工商需要一個配備原位控制的全精密光學(xué)鍍膜系統(tǒng),該系統(tǒng)可直接監(jiān)控光學(xué)特性。

對性能和產(chǎn)量的影響

在精密光學(xué)真空鍍膜加工過程中,薄膜的可接受誤差范圍非常小。滿足所需的規(guī)格對于過濾器尤為重要,因為它會顯著影響性能。例如,激光安全護目鏡旨在阻擋特定波長,同時通過其他波長(“陷波”濾波器)。如果厚度超出規(guī)格太遠,被阻擋的波長將錯過激光,使其通過并對最終用戶造成非常嚴重的眼睛損傷。

但是由于這些過濾器的規(guī)格如此嚴格,因此很難獲得高產(chǎn)量。這顯然是高通量應(yīng)用的一個問題,但即使是小規(guī)模運行和低通量生產(chǎn),它也會對擁有成本產(chǎn)生重大影響。為了降低整個系統(tǒng)的擁有成本,建議為系統(tǒng)配置一個可以實時評估關(guān)鍵屬性的光學(xué)監(jiān)視器。

監(jiān)測光學(xué)厚度的好處

厚度是確保精度和性能的最重要屬性之一。在光學(xué)真空鍍膜加工過程中有兩種監(jiān)測厚度的方法:

  • 物理厚度,指涂層本身的實際厚度

  • 光學(xué)厚度,以光波長表示鍍層厚度;這是物理厚度乘以特定感興趣波長的折射率

在沉積涂層時,原位光學(xué)監(jiān)測系統(tǒng) (OMS) 是監(jiān)測光學(xué)厚度的絕佳選擇。OMS 可以確保光學(xué)元件滿足性能要求所需的確切規(guī)格。

與石英晶體監(jiān)測 (QCM) 等方法相比,使用 OMS 的一些好處:

  • 卓越的精度:第一個好處是能夠在您的配置中構(gòu)建高精度的光學(xué)特性。這對于多層光學(xué)堆棧尤其重要,因為僅通過監(jiān)測薄膜的物理厚度和特性來測量光傳輸?shù)纫蛩乜赡苁且粋€挑戰(zhàn)。

  • 實時控制: OMS 可讓您在薄膜沉積過程中控制您的光學(xué)鍍膜。通過沉積過程中的準確反饋,您可以立即進行必要的調(diào)整以達到薄膜規(guī)格,只要您的系統(tǒng)和 OMS 與強大的軟件包集成。

  • 提高產(chǎn)量:高精度和實時調(diào)整涂層的能力將提高您系統(tǒng)的整體產(chǎn)量。您將能夠在同一沉積系統(tǒng)上創(chuàng)建更多可用的光學(xué)器件,這些光學(xué)器件符合非常嚴格但必要的規(guī)格,以確保性能。

考慮因素

在真空鍍膜加工過程中進行光學(xué)監(jiān)測時,主要使用兩種方法:直接和間接。

  • 直接監(jiān)控會在實際基材通過涂層過程時實時監(jiān)控。

  • 間接監(jiān)控監(jiān)控一個單獨的芯片,該芯片也涂覆在同一沉積室內(nèi)。

在確保非常特定的光學(xué)性能的性能方面,直接和間接監(jiān)測都有利有弊。還有其他方法和因素需要權(quán)衡,例如:

  • 單波長與寬帶

  • 透射與反射


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