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真空濺射離子鍍膜(PVD)服務(wù)商

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真空鍍膜機的使用步驟是什么樣的?

時間:2022-05-15    點擊數(shù):

真空鍍膜機需要鍍膜的被稱為基片,鍍的材料被稱為靶材。 基片與靶材同在真空腔中。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。 對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來,并且最終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,最終形成薄膜。

使用步驟:
電控柜操作
1. 開水泵、氣源。
2. 開總電源。
3. 開維持泵、真空計電源,真空計檔位置V1位置,等待其值小于10后,再進(jìn)入下一步操作。約需5分鐘。
4. 開機械泵、預(yù)抽,開渦輪分子泵電源、并啟動,真空計開關(guān)換到V2位置,抽到小于2為止,約需20分鐘。
5. 觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達(dá)250以后,關(guān)預(yù)抽,開前級泵和高真空閥繼續(xù)抽真空,抽真空到達(dá)一定程度后才能開右邊的高真空表頭,觀察真空度。真空到達(dá)2×10-3以后才能打開電子槍電源。

DEF-6B操作:
1. 總電源。
2. 同時開電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源:按電子槍控制Ⅰ電源、延時開關(guān),延時、電源及保護(hù)燈亮,三分鐘后延時及保護(hù)燈滅,若后門未關(guān)好或水流繼電器有故障,保護(hù)燈會常亮。
3. 開高壓,高壓會達(dá)到10KV以上,調(diào)節(jié)束流可到200mA左右,簾柵為20V/100mA,燈絲電流1.2A,偏轉(zhuǎn)電流在1~1.7之間擺動。

關(guān)機順序:
1. 關(guān)高真空表頭、關(guān)分子泵。
2. 待分子泵顯示到50時,依次關(guān)高閥、前級、機械泵,這期間約需40分鐘。
3. 到50以下時,再關(guān)維持泵。

適用范圍:
1.建筑五金:衛(wèi)浴五金(如水龍頭).門鎖.門拉手.衛(wèi)浴、五金合葉、家具等。
2.制表業(yè):可用于表殼.表帶的鍍膜、水晶制品。
3.其它小五金:皮革五金.不銹鋼餐具.眼鏡框、刀具、模具等.
4.大型工件:汽車輪轂、不銹鋼板.招牌.雕塑等。
5、不銹鋼管和板(各種類型表面)
6、家具、燈具、賓館用具。
7、鎖具、拉手、衛(wèi)浴五金、高爾夫球頭、不銹鋼餐具、器皿等五金制品鍍超硬裝飾膜。
8、手表、表帶、眼鏡、首飾等裝飾品鍍超耐磨裝飾(金銀)納米膜和納米膜和納米疊層膜。

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